УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ НАПРАВЛЕННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ОБРАБОТКОЙ

Рассмотрены вопросы формирования вакуумных фторполимерных пленок, путем осаждения на поверхности подложки из газовой фазы продуктов диспергирования блочного политетрафторэтилена при направленной технологической обработке растущего слоя покрытия электронами и ионами плазмы в ВЧ-разряде. Исследованы зависимости электрических свойств полученных пленок от режимов их технологической обработки.