No 1 (2) (2012)

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ И СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Исследованы возможности формирования гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов. Определены оптимальные технологические условия формирования структур. Проведен анализ кристаллической структуры и фазового состава алмазоподобных и сегнетоэлектрических пленок. Показано, что формирование двухслойной гетероструктуры с алмазоподобным слоем при температуре подложки выше 700 ºС перовскитный слой не обладает се-гнетоэлектрическими свойствами.

Авторы:

Михаил Сергеевич Афанасьев

Петр Александрович Лучников

Александр Юрьевич Митягин

Галина Викторовна Чучева

Скачать PDF (Русский)