ОСОБЕННОСТИ РОР-СПЕКТРОСКОПИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПЕРОВСКИТОВ

Проведены исследования тонких перовскитных пленок барий-стронциевого титаната (Ba1-xSrxTiO3) на монокристаллических подложках типа Si [100], MgO [100] и NdGaO3 [100] методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия и рентгенофлуоресцентного анализа при полном внешнем отражении потока возбуждения. Рассмотрены особенности метода РОР-спектроскопии и его ожидаемое следствие при анализе тонких перовскитных пленок Ba1-xSrxTiO3 на различных типах монокристаллических подложек. Определена степень их элементной неоднородности по толщине и степень диффузионного загрязнения атомами подложек.